2481-000002-12
STAGE DESTRIBUTION BOARD
東京エレクトロン (TEL)
1-S-117
SENSOR
OMRON
1R87-400748-11
TITLER&EE I/F BOX(E)
1R86-412775-11
漏水センサ
1R86-408799-12
C/S Y-MOTOR CABLE #2
1R86-408798-12
C/S Z-MOTOR HARNESS #2
1R86-408725-11
M/A X-MTR CABLE2
1R86-408723-11
M/A Y-MTR CABLE
1R86-408722-11
M/A Z(T)-MTR CABLE1
1R86-408721-11
M/A X-MTR CABLE1
1R86-406463-11
C/S (T)-MOTOR CABLE
1R86-406461-13
C/S (T)-DRV CABLE
1R86-405792-13
M/A Y-ENC CABLE
1R86-404118-11
C/S X-MOTOR-CABLE
1R86-404111-13
C/S Y-ENC CABLE
1R86-404109-13
C/S Z-ENC CABLE
1R86-404106-12
C/S Y-DRV CABLE
1R86-404105-12
C/S Z-DRV CABLE
1R86-404103-11
C/S X-DRV HARNESS
1R86-404041-11
M/A VOLT SINK2 ASSY
