0100-76124
DIGITAL I/O BOARD
APPLIED MATERIALS (AMAT)
4S017-626-
ＢＳ－ＬＩＮＫ
Nikon
4S017-624-
ＬＳ－ＬＩＮＫ
4S017-604-
Ｌ４－ＡＩＲ
4S007-481-
ＢＡＲＩＦ－Ｋ
0100-00003 RevC
ステッパードライブ基板
V440G9
シリアルI/Oボード
0190-35207 RevP1
チャンバーインターフェースボード
0190-35208 RevP1
4S990-083AN
VACセンサ組品
Nikon TEC
4S554-002AN
ロータリーエンコーダー
4L990-008AN
CCDカメラヘッド
4K680-193-2AN
マイカレックス
4B990-515AN
メインシャッターモーター
NVC6B-M5
カメラコントローラー
4B990-898
積算露光センサー
4S015-024-1-D-H
NK-DSP
4S018-099-D
L6-VFDRV
4S018-089-A
LS-LINK3
4S018-085-B
INK-LINK2
