PDR-060CL
DRY PUMP
ULVAC
CR16A
ドライポンプ
AMC6D
デジタル電離真空計
ER80
G-10DA
ロータリーポンプ
MBD-S
クライオメーター
RFP5DC
RF電源コントローラー
RFS-05C
RFジェネレーター
VDC5A
電源ユニット（VDC MONITOR)
マッチングボックス(型式不明)
マッチングボックス
WSC-52FD-2KN-1S
真空ゲージ
CRYO-T6E
クライオポンプ
CRYO-U10PUS
C2W303
クライオポンプコンプレッサー
C30ZR Ver.2
CRYO-T8SN
NTM-500
非接触ウェーハ温度モニター
IPZ-9001
インプラ装置
DOP-100T
揺動ピストン型ドライ真空ポンプ
DA-81S
ダイアフラム型ドライ真空ポンプ
